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Water for Chips丨紫外线高级氧化技术在超纯水制备工艺中的应用

来源:本站原创 作者:本站编辑 2023-12-08 16:48:20 访问量统计:

    在第五届电子行业超纯水制备与污水再生利用技术研讨会上,Fluidsmile乐富意得(上海)流体技术有限公司总经理,海诺威公司中国区销售经理王涛作了“中压紫外技术在超纯水工艺应用中的技术优势”的专题报告。

王涛总经理作报告

    王涛在报告中主要介绍了中压紫外线的技术特点和海诺威中压紫外线产品在半导体企业的应用案例。

    王涛首先介绍了紫外线在超纯水工艺中的应用场景,对于超纯水生产来说,紫外技术在预处理、精制以及抛光阶段都不可或缺,其关键在于保证对水中微量总有机碳(TOC)的去除。

    中压紫外线能够去除TOC的原理包括打断分子化学键,激发水分子产生羟基自由基进行氧化和将有机物离子化进而由后续工艺(离子交换树脂)去除三种方式。相比传统低压紫外线只能产生185 nm和254 nm波长的紫外线,王涛指出中压紫外线技术的技术特点在于具有更广的紫外波长范围,可以改善单一185 nm波长对水体中TOC有效去除范围小,去除效率低的问题。海诺威公司基于此提出中压+低压的组合技术方案,优化灯管数量组合方案并提升单只灯管的状况监测,该方案在有效超纯水产水水质的同时,实现了超纯水紫外工艺的投资成本、维护成本与运行成本的大幅降低。

    目前,海诺威公司的中压+低压组合紫外线技术方案被用于英特尔、格罗方德、中芯国际、比亚迪等多个企业的纯水制备生产线。

      2023年11月5日,由中国环境科学学会水处理与回用专业委员会(以下简称“专业委员会”)和清华大学联合主办的第五届电子行业超纯水制备与污水再生利用技术研讨会在北京成功举办,来自芯片和面板制造厂商、电子级超纯水制备厂商、电子行业设计研究院、国家工业和信息化部电子第五研究所和清华大学的专家学者60余人参加了会议。 

    本次研讨会设置了电子级纯水制备技术与工艺和电子行业污水再生利用技术与工艺2个研讨主题,共邀请了12位知名专家学者做主题报告。报告内容涉及本领域的前沿科学问题、关键技术、工程实践和政策管理等多个层面,实现了从电子级纯水制备—终端用户使用—污水再生处理与循环利用的全链条覆盖。

    本次研讨会由沃顿科技股份有限公司和江苏中电创新环境科技有限公司赞助,在此表示感谢!

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第八届全国水处理与循环利用学术会议

会议时间:2024年4月12日-14日

会议地点:四川 成都

会议网址:http://chinawtr2024.reclaimedwater.net/

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申请报告截止:2024年3月10日。会务组根据申请时间安排报告,无法列入报告的将安排海报展示。

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Water Cycle

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    水处理与回用专业委员会是中国环境科学学会的下属分支机构,成立于2015年。该专业委员会秉承“善水循环、尚法自然”理念,致力于促进水处理与循环利用领域理论、技术、工程、标准和管理研究与创新发展,开展学术交流、人才培育、科普与宣传教育等公益活动,为水资源可持续利用、水生态环境安全保障和生态文明建设做出积极贡献。

    专业委员会定期举办水与发展纵论(WaterTalk)、先进水技术博览(WaterTech.)、水科学技术前沿沙龙(WaterInsight)、全国水处理与循环利用学术会议(ChinaWTR)、全球水环境与水循环研讨会(GlobalWEC) 和ISO水循环利用国际标准研讨会等高水平学术活动,主办再生水网、Water Cycle国际学术期刊和《水工程科学进展》通讯。

    专业委员会网站:http://reuse.reclaimedwater.net/

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    Water Cycle投稿链接:https://www.keaipublishing.com/en/journals/water-cycle/guide-for-authors/#3514771


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